標準范圍( 空氣/用戶可調 )1

LFE1400 從 0-1000 Ln/min 至 0-1400 Ln/min

LFE1000 從 0-700 Ln/min 到 0-1000 Ln/min

LFE700 從 0-500 Ln/min 至 0-700 Ln/min

LFE500 從 0-350 Ln/min 至 0-500 Ln/min

氣體

最大流量

CORE

PRIME

PRIME H2

空氣

0-1400 Ln/min

?

?

?

N2

0-1400 Ln/min

?

?

?

Ar

0-1240 Ln/min

?

?

?

He

0-1400 Ln/min

?

?

二氧化碳

0-740 Ln/min

?

?

一氧化碳

0-1390 Ln/min

?

?

H2

0-2900 Ln/min

?

以上是為每個傳感器預編程的默認氣體。更多氣體可作為選件添加2。
  1 除非明確說明，否則zhiding的流量范圍適用于 1013.25 bara （760 mmHg） 和 0 °C（32   °F） 的等效空氣流量。其他常見的流量、溫度和壓力單位可通過 V?gtlin Connect 應用程序或數字通信接口進行選擇。更多信息請參見d·flux操作說明。
  2 其他氣體或氣體混合物可添加到上述標準列表中。每個單元最多可以存儲 15 種氣體。儲存的氣體可以用另一種氣體或氣體混合物（空氣除外）代替。編程氣體/混合物可通過 V?gtlin Connect 應用程序或數字通信接口進行選擇。
  有關其他氣體、氣體混合物和參考條件，請聯系工廠。僅適用于干燥和清潔的氣體。

配置 文件

客戶定義的配置文件

多達 15 個用戶可編程配置文件配置文件是預設配置，客戶可以在其中為多達 15 種不同的應用設置氣體、范圍、動態、累加器、工程單位和參考條件

性能數據

準確性

A1 Core：±用戶滿量程的 0.5% ±測量值的 1%。

B1 Prime：±用戶滿量程的0.3%±測量值的0.7%。

B2 Prime高精度：±用戶滿量程的0.3%±測量值的0.5%。

即將推出（氫氣應用）：

B3 Prime H2：±用戶滿量程的 0.3% ±測量值的 0.7%。

B4 Prime H2高精度：±用戶滿量程的0.3%±測量值的0.5%。

用戶滿量程 = ～70…100%標準范圍。

介質

與所選材料兼容且數據可在

NIST refprop 數據庫中獲得的所有氣體和氣體混合物。

請聯系工廠了解更多信息。

動態范圍

固定動態：大多數氣體為 1：100* VADy 動態：高達 1：1000（僅適用于流量表）  在訂購過程中可以選擇 VADy®® 或固定動態范圍。

可以使用 V?gtlin Connect應用程序隨時更改此設置。 *動態范圍取決于氣體和壓力，較高的壓力意味著較低的動態范圍。

響應時間

流量計：120毫秒/控制器：2000毫秒（根據SEMI標準SEMI E17-1011）* 更新時間質量流量值：10毫秒/傳感器采樣率：1毫秒

* 具有優化的過濾器設置。所有過濾模式和值都可以通過V?gtlin Connect應用程序或數字通信接口進行設置。

重復性

±工廠滿量程的0.2%（根據SEMI標準E56-0309）

長期穩定性

常規配置 < 測量值的0.2%/年

電源

流量計：15-36 Vdc，（200 mA@24Vdc，穩壓）/流量控制器：24 Vdc±10%，（2000mA@24Vdc，穩壓） 通過 M8-4P 連接或可選的 D -sub 連接

供電（紋波峰峰值不應超過 100 mV）

我們建議本機的主體正確接地

操作壓力

1 至 14 bar a

溫度（環境/氣體）

-20 至 +60 °C （-4 至 140 °F）

濕度氣體

0-95% 相對濕度（無冷凝）

壓力靈敏度

prime和prime H2 傳感器：   <0.05%/bar 出廠滿量程（空氣）。

Core sensor：出廠滿量程的 < 0.08%   + 測量值的0.1% /bar（空氣）。

溫度靈敏度

<0.02% FFS* 每 1 °C 進氣溫度 @ 7 bar a 壓力

*工廠滿量程（設備的最大流量范圍）

精度溫度

通常± 0.5 °C（未經認證）

精度 絕對壓力

<0.5% MV（未經認證）

預熱時間

<2秒，實現全精度

材料

接液部件

密封圈：現已上市：FKM，EPDM（僅限流量計）。EPDM（流量控制器，2023年上市）、

FFKM閥座（2023年上市）。完整的FFKM版本（應要求提供）。

閥體：不銹鋼316L（1.4404）。

閥門（控制器）：316 （1.4401）、416 （1.4005）、430F （1.4104）。

入口過濾器：不銹鋼 316 （1.4401），緊固不銹鋼 （1.4122） 或同等產品。

A1 核心傳感器：不銹鋼 316Ti （1.4571），硅、金、玻璃、硅膠封裝、PBT。

30GF，陶瓷。B1 主用傳感器：不銹鋼   316L （1.4404）。

B2 Prime H2 傳感器：不銹鋼 316L （1.4404），帶金色涂層。

電子外殼

粉末涂層不銹鋼

集成入口過濾器

50微米SS316（1.4401）過濾器/不可客戶更換/緊固件材料SS（1.4122）

接液部件表面粗糙度

1.6 Ra μm 或更高（請聯系工廠以獲取更低的 Ra 值）

集成與安裝

模擬信號輸出

線性 4–20 mA 或客戶定義（最大 20 mA）用戶可選

線性 0–5 VDC 或 0-10 VDC 或客戶定義（最大 10 V） 用戶可選

mA 輸出：740 歐姆最大負載電阻 電壓輸出：1000 歐姆最小負載電阻

所有模擬輸出均經過電隔離和保護。如果與模擬信號一起使用，則增加0.2%的FFS不確定性

模擬信號設定值

線性 4–20 mA 或客戶定義（最大 20 mA）用戶可選

線性 0–5 VDC 或 0-10 VDC 或客戶定義（最大 10 V）用戶可選

數字信號輸出

RS-485 （Modbus RTU 2線）

Modbus 地址可通過外殼外部的 2 個旋轉開關進行設置。

所有Modbus設置都可以通過V?gtlin Connect應用程序進行設置。

可選ProfiNet或EtherCAT

帶集成交換機的雙端口 RJ45（易于菊花鏈） RJ45 LED 指示網絡上的鏈路和活動 / 以太網速度：最大 100 Mbit

ProfiNet：PROFINET IO 規范 v2.33 / PROFINET IO 設備一致性等級 B （RT） / 字節序：符合西門子 S7（大）

EtherCAT：IEC 標準 IEC61158 / 字節序：小

Ethernet IP 將于 2023 年底上市。

配置界面

藍牙4.0（免費的V?gtlin Connect應用程序可從Google Play商店獲得）

輸出 I/O mosfet

通過 M8-4P 連接器提供外部截止閥或報警的開/關

觸點類型：mosfet   transistor

最大電壓：36 Vdc，最大電流 500 mA（聚乙烯保護）

電氣連接

9 針 D-sub 公頭（電源和信號） M8-4P 連接器（集電極開路輸出 + 電源）

可選 2 x RJ45 （以太網/丙烯）

過程連接

1“ BSPP 內螺紋 （G1"）

可選 1/2“ BSPP，1" 壓縮接口 或 50.5mm 卡箍法蘭 （ISO）（請參閱附件選項卡）

入口部分

如果安裝了我們的標準入口過濾器/調節器，則不需要過濾器。

沒有過濾器/調節器 建議使用 10 D 直管段入口 入口過濾器可在訂購時取消選擇

壓降

流量計：出廠時標準 400 mbar 滿量程空氣排放到大氣中（帶過濾器/調節器）

可選：出廠時 325 mbar 滿量程空氣排放到大氣中（無過濾器/調節器） 壓降取決于工作壓力（更高的壓力 = 更低的壓降）

欲了解更多信息，請咨詢您的銷售合作伙伴

控制器：1400 ln/min （空氣），所需的最小壓差 < 2 bar

請聯系您的銷售伙伴了解其他壓降要求

安裝方向

所有方向都可以

重量

流量計：3.7 千克/  流量控制器：8.7 千克（不包括以太網和配件）

安全

生產后的測試壓力

28 bar a

最大過壓傳感器

核心傳感器：28 bar a，prime和prime H2 傳感器：90 bar a

破裂壓力

流量計： 100 bar a / 流量控制器： 70 bar a

泄漏率

< 1 x 10-6 毫巴升/秒 He

防護等級

如果使用 IP54-D-sub，則達到 IP54（請參閱附件選項卡）

對于可選的EtherCAT/Profinet：IP40

認證

EMC

IEC/EN61326-1， IEC/EN61000-6-2/4

防爆認證

沒有

材質證書

將于 2023 年發布（僅適用于儀表）

FDA

將于 2023 年發布（僅適用于儀表）

PED

合規。由于該裝置具有 1“ 過程連接，因此符合壓力設備指令（PED）（4/3/EU） 第 2014 條第 68 款中定義的SEP

RoHS?/?REACH

所有組件均符合 2002/95/EC （RoHS） 和 REACH 準則

保證

1年，除非使用某些腐蝕性/危險氣體（HCL，CL2，F2，H2S，SO2）